上海三井離子泵
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濺射離子泵(SP)可獲得清潔無油超高真空，它具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，已得到廣泛的應(yīng)用。特點(diǎn)：沒有工作液，不污染系統(tǒng)；無震動(dòng)、無噪聲；工作壓強(qiáng)范圍寬(1x10負(fù)4-1x10負(fù)11托)；壽命長，在1x10負(fù)7托工作壽命可達(dá)30年；不用真空計(jì)可知真空
