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擴散泵擴散泵油是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。工作原理擴散泵擴散泵油中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口
