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濺射離子泵(SP)可獲得清潔無(wú)油超高真空,它具有許多獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn),已得到廣泛的應(yīng)用。特點(diǎn):沒(méi)有工作液,不污染系統(tǒng);無(wú)震動(dòng)、無(wú)噪聲;工作壓強(qiáng)范圍寬(1x10負(fù)4-1x10負(fù)11托);壽命長(zhǎng),在1x10負(fù)7托工作壽命可達(dá)30年;不用真空計(jì)可知真空