在需要無油泵時(shí)，滾軸泵可替代旋片泵。XDS 泵的抽速為 5、10 和 35 m3/hr，是采用了新式的軸承護(hù)罩，將真空環(huán)境與潤滑劑隔離開，使之不僅干燥， 而且保護(hù)軸承免受任何制程氣體的影響。蒸汽處理通過可調(diào)氣囊實(shí)現(xiàn)；這使該系列的泵能夠應(yīng)用于以前許多不能采用其他滾軸泵的應(yīng)用場合。

XDS100B 是滾軸增壓泵，具備針對高抽速用途的泵送機(jī)械裝置。與增壓泵一樣，它需要與主泵一同使用，適合與 Edwards XDS35i 或 XDS46i 滾軸泵搭配。當(dāng)入口壓力在 1 mbar 到 10 mbar 之間時(shí)，XDS100B 針對大抽速進(jìn)行了優(yōu)化，因此適合吞吐量的 LCMS 應(yīng)用。的泵設(shè)計(jì)使得末端密封磨損消失，也就減少了維修干預(yù)，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間。

變換器驅(qū)動(dòng)允許泵連接到單相電源，控制著電機(jī)的特性，泵總是以優(yōu)化速度運(yùn)行，并使用戶可以對泵進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

滾軸泵利用相互交錯(cuò)的固定和軌道滾軸來產(chǎn)生非接觸式新月形氣泡，并通過軌道運(yùn)行不斷對其進(jìn)行壓縮。這意味著，與油密封旋轉(zhuǎn)泵不同，在泵移動(dòng)量中不需要密封劑或潤滑劑。

特點(diǎn)優(yōu)勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可徹底的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運(yùn)行，使用時(shí)間更長

無需更換潤滑油，也就消除了處置被污染的潤滑油所需的費(fèi)用

簡單的單側(cè)滾軸設(shè)計(jì)意味著維護(hù)工作可在數(shù)分鐘內(nèi)完成，降低運(yùn)行成本，盡可能延長正常運(yùn)行時(shí)間

變換器驅(qū)動(dòng)可使抽速穩(wěn)定維持在 50/60Hz

參數(shù)