濺射離子泵(SP)可獲得清潔無油超高真空，它具有許多獨特的優(yōu)點，

已得到廣泛的應(yīng)用。

特點：

沒有工作液，不污染系統(tǒng)；

無震動、無噪聲；

工作壓強范圍寬(1x10負(fù)4-1x10負(fù)11托)；

壽命長，在1x10負(fù)7托工作壽命可達30年；

不用真空計可知真空度；

不用檢漏儀可對系統(tǒng)進行檢漏。

應(yīng)用：

加速器    表面物理

儲存環(huán)    材料研究

電子顯微鏡  宇宙模擬

質(zhì)譜儀    大功率激光研究

真空電子器件

三級泵與二級泵的區(qū)別：

三極泵對惰性氣體的抽速大得多。以下情況建議使用三極濺射離子泵：

1、不斷有惰性氣體進入真空系統(tǒng)；

2、在大型真空系統(tǒng)中離子泵與升華泵或吸氣劑泵結(jié)合使用。