INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì)BPG400，將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)小型的單元內(nèi)，測(cè)量范圍從5x10負(fù)10毫巴至大氣壓(3．8x10負(fù)lO乇至大氣壓)，復(fù)合的技術(shù)降低了安裝，設(shè)置和集成的復(fù)雜性，選擇在一個(gè)經(jīng)濟(jì)型規(guī)管內(nèi)的BPG400用于普及和可再現(xiàn)的過(guò)程中的基本壓強(qiáng)測(cè)量。

優(yōu)點(diǎn)
--極寬的測(cè)量范圍從5x10負(fù)10毫巴至大氣壓(3．8x10負(fù)10乇至大氣壓)
--極好的重復(fù)性，過(guò)程壓強(qiáng)范圍10負(fù)8——10負(fù)2毫巴均為5％
--皮拉尼連鎖保護(hù)B—A型系統(tǒng)，防止燈絲過(guò)早燒毀和高壓強(qiáng)運(yùn)行產(chǎn)生的污染
--敷涂銥的氧化釔長(zhǎng)壽命燈絲
--可選圖形顯示和Feldbus接口
--自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)

用途
--半導(dǎo)體工藝過(guò)程和傳輸室中的壓強(qiáng)測(cè)量
--工業(yè)鍍膜
--從低至超高真空范圍的一般真空測(cè)量和控制