nXDS20i 是下一代無油的干式渦旋泵,可在應(yīng)用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。 氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封,延長了端部密封更換的時間間隔。 具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 可進(jìn)行現(xiàn)場維修。
用途
· 一般清潔泵送應(yīng)用
· 電子掃描顯微鏡 - SEM
· 射束線和高能物理
· 前級渦輪泵
· 速離心機(jī)
· 覆層
· 低溫學(xué)
· 脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
· 蒸餾/萃取/過濾
· 冷凍干燥
· 熔爐
· 凝膠體干燥
· 實(shí)驗室工作臺上真空
· 激光、氣體回收和再循環(huán)
· 氦檢漏儀
· 負(fù)載鎖和傳輸腔
· 稀有氣體再循環(huán)
· 稀有氣體回收
· 冷凍制造
· 旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
· SEM/FIB(離子束維修)
· 溶劑回收
· 表面科學(xué)儀器
特點(diǎn)優(yōu)勢
· 真空外殼中不需要使用潤滑劑,密封可徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
· 無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運(yùn)行,使用時間更長
· 簡單的單側(cè)滾軸布置與新的電機(jī)和軸承設(shè)計相結(jié)合,只需低程度的工具,就能實(shí)現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù),因此可降低運(yùn)行成本,盡可能延長正常運(yùn)行時間
· 改進(jìn)了電機(jī)和傳動效率,可降低功耗和運(yùn)行成本
· 接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
數(shù)據(jù)