擴(kuò)散泵擴(kuò)散泵油是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。

工作原理

擴(kuò)散泵擴(kuò)散泵油中的油在真空中加熱到沸騰溫度（約為200度）產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管由各級(jí)噴嘴定向高速?lài)姵?。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運(yùn)動(dòng)，氣體分子碰到泵壁又反射回來(lái)，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過(guò)幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級(jí)壓縮，最后由前級(jí)泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。