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在前級真空泵所造成的低真空條件下，加熱泵內硅油或擴散泵油，使受熱沸騰蒸發(fā)，生成蒸汽，以極高速度通過該泵的各級噴口的縫隙噴出，使容器內部的氣體分子擴散到蒸汽中被帶到前級真空泵所能作用的位置，由前級真空泵迅速抽出，使系統(tǒng)達到高真空的要求。
