爪式真空泵是為半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展而研制的,它具備哪些特點(diǎn)?我們就來(lái)在本文中簡(jiǎn)單的了解一下:
1)泵腔內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑劑,因而無(wú)返油現(xiàn)象發(fā)生。
2)抽氣元件為非接觸式的可實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)轉(zhuǎn)(3000r/min)。
3)與泵抽氣體接觸的表面防腐蝕耐磨損。
4)在泵腔內(nèi)氣流垂直運(yùn)動(dòng),少量的顆粒物和液體等在重力作用下易于排除。
5)該泵型式多樣,功能可以擴(kuò)展,泵的主體,帶有齒輪、馬達(dá)以及氣體凈化設(shè)備,附件有入口處防返流的閥門,出口處有截流閥,電氣監(jiān)控及報(bào)警裝置。
6)齒輪和泵軸的下軸承用PFPE油潤(rùn)滑,上端蓋內(nèi)德軸承用PFPE油脂潤(rùn)滑。
7)二、三、四級(jí)均有凈化入口,以改善被抽介質(zhì)順利通過(guò)泵腔,無(wú)此需要的可以不用通凈化氣體,凈化氣體用三個(gè)流量計(jì)分別調(diào)節(jié),相互都是獨(dú)立的,以保證節(jié)約惰性氣體,利用三個(gè)電磁閥可微調(diào)其流量。
8)入口防返流閥能將被抽容器與泵腔隔斷,出口處截流閥能將泵的出口封閉起來(lái),將泵通以凈化氣體,這些閥可自動(dòng)開關(guān),真空系統(tǒng)有可靠得保護(hù),杜絕了向真空室的返流。
9)電氣監(jiān)控與操作,主要有電源,遠(yuǎn)距離操作和開關(guān)閥等的控制。
當(dāng)泵出現(xiàn)故障時(shí),泵能自動(dòng)停車,兩個(gè)閥門一齊關(guān)閉或截流閥關(guān)閉。動(dòng)力和遙控有一臺(tái)變壓器和整流器,以提供所需的電流電壓,以滿足監(jiān)控過(guò)程的需要。動(dòng)力電源、繼電器用以對(duì)馬達(dá)的接通和斷開及馬達(dá)超負(fù)荷的保護(hù)。操作流程有顯示器,有按鈕控制,可控制馬達(dá)、防返流閥的控制閥和截流閥的控制閥,二、三、四級(jí)的凈化氣體的通斷閥,惰性氣體的主按鈕操作。
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